Üks meie pooljuhtklientidestmikrokanaliga jahutusplaatvalmistatud 6061-T6 alumiiniumist. Vajalik komponent üle1200 mikro-auku, igaØ 0,18 mm, koos asügavuse-ja-läbimõõdu suhe 10:1, jaasukoha täpsus alla ±5 μmkogu osa pinna ulatuses.
Peamised väljakutsed hõlmasid järgmist:
Tööriista purunemineäärmuslike kuvasuhete tõttu
Hooldamineaugu sirguspikkadel puurimissügavustel
Tagadeskiibi evakueeriminemikro{0}}auke deformeerimata
Ennetaminetermiline moonutuspideva puurimise ajal
Nende lahendamiseks kasutasime:
Spetsiaalsed mikro{0}}puurimisseadmedsisemiste jahutusvedeliku kanalitega
Mit{0}}etapppuurimisstrateegiadviivituse ja tagasitõmbamise juhtimisega
Ultraheli{0}}abiga loputuskiibi eemaldamise tagamiseks
Töötlemisel-termiline stabiliseeriminekäikude vahel, et kontrollida laienemist
Pärast mitut iteratsiooni ja simulatsiooni rakendasime a2-käiguline puurimis- ja hõõrimisprotsessmis saavutas ühtlase aukude geomeetria ja{0}}vaba sisepinna. Järel-mehaaniline kontroll, kasutades a500× digitaalmikroskoopjaCMM koos sondi skaneerimisegakinnitatud:
Kõik augud sees±3 μmtolerantsi riba
Pinna karedus allpoolRa 0,2 μm
Aukude-–-aukude vahe hälve±4 μmläbi 150 mm × 150 mm maatriksi
Komponent läbis heeliumi lekketestid ja soojusülekande efektiivsuse testid ning võeti kliendi pilootehitusse ilma ümbertegemiseta.
