Töötleva objekti analüüs
Materjal: optilise kvaliteediga kvartsklaas
Töötlemise funktsioonid: mitme -pinna kontuuri lihvimine (sh 3 asümmeetrilist tahku)
Võtme mõõtmed: 16 × 16 × 10 mm (viga ±0,002 mm)
See kvartsprisma, mis on vaid küünesuurune, on kodumaise tipptasemel-litograafiamasina optilise süsteemi tuum valgus{0}}juhtelement. Selle 8 keerukat kõverat pinda peavad saavutama 99,6% läbilaskvuse ja nanomeetri{5}}taseme murdumistäpsuse ning pinna karedus mõjutab otseselt litograafiamasina särituse eraldusvõimet.
Tööstuse valupunktid ja tehnilised raskused
Optikatehnoloogia ettevõte sattus litograafiamasinate lokaliseerimise edendamisel kitsaskohta kvartsprisma töötlemisel:
Traditsioonilised lihvimisvead: karedus ulatub pärast käsitsi poleerimist endiselt Sa 120 nm, mille tulemuseks on 15% valguse hajumise kadu
Seadmete sõltuvus impordist: ühe Jaapani üli{0}}täppisveski hind ületab 20 miljonit jüaani ja tarneaeg on kuni 18 kuud
Tootmiskriis: 500 proovitootmise esimesest partiist vaid 32 vastasid standarditele, mis aeglustas projekti edenemist tõsiselt
Dilemma "ei saa endale lubada imporditud seadmeid ja kodumaised protsessid ei ole head" blokeeris otseselt iseseisva litograafiamasina arendamise protsessi.
BISHENlahenduste lahendus
Vastuseks optiliste komponentide äärmuslikele täpsusnõuetele on BISHENi tehniline meeskond välja töötanud uuendusliku uurimis- ja arendustegevuse:
1. Ultraheli vertikaalse viie-teljega ühenduse töötlemise süsteem
2. 0.1μm-taseme dünaamiline kompensatsioon, 18-teljeliste ühenduspinkide täpne juhtimine
3. Asümmeetrilise pinna sobitamine CAD/CAM intelligentne programmeerimine
4. Kõrgsageduslik-ultraheli lihvimistehnoloogia
5. 40kHz ultrahelivibratsioon vähendab lõikepinget 52% ja väldib kvartsi mikropragusid
6. Teemantmikro{1}}pulberlihvketta eluiga pikeneb 3 korda
Tegelik mõõdetud jõudluse hüpe
Teatud tüüpi kodumaise litograafiamasina prisma masstootmises on saavutatud kolm olulist läbimurret:
1. Pinna kvaliteet: karedus Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Töötlemise tõhusus: ühe-tüki töötunnid surutakse 14 tunnilt 3,5 tunnini
3. Kulude kontroll: Investeering seadmetesse on vaid 1/5 imporditud lahendusest
Esimese 3000 tootest koosneva partii tootlus hüppas 98,7%ni, aidates klientidel prototüüpide kokkupanekut 6 kuud enne tähtaega lõpule viia.
UmbesBISHEN
BISHENTäppistehnoloogia (asutatud 2017. aastal) keskendub „pudelikaela” tehnoloogia läbimurdmisele tipptasemel-tootmise valdkonnas. Ta on ehitanud Dongguani 7500 ruutmeetri suuruse digitaalse tehase, mis on varustatud imporditud seadmete klastritega, nagu viie-teljeühendusega töötlemiskeskused ja ülitäpsed optilised lihvimismasinad. Rakendades uuenduslikke tehnoloogiaid, nagu ultraheli töötlemine ja krüogeenne lõikamine pooljuhtseadmetes, optoelektroonilistes instrumentides ja muudes valdkondades, on see pakkunud võtmeosade töötlemise lahendusi enam kui 20 kodumaisele litograafiamasinatööstuse ketiettevõttele ning tarninud üle 500 000 täppisoptilise komponendi.
