Pooljuhtide tööstusesmikroni{0}}taseme täpsusei ole luksus,{0}}see on lähtepunkt. Kasutatavad komponendidvahvlite käitlemise süsteemid, söövituskambrid, jafotolitograafia tööriistadnõudamõõtmete tolerantsidsageli alla 5 mikroni. Traditsioonilised CNC-töötlemismeetodid ei suuda selliseid nõudeid täita ilma spetsiaalse protsessijuhtimise ja metroloogiata.
Väljakutse: kui mikronid on olulised
Erinevalt tavalistest tööstuslikest osadest peavad pooljuhtkomponendid:
Säilitadaäärmine lamedus ja paralleelsus
Ontäpne aukude joondamine ja samm
Tagadaminimaalsed pinnadefektidmis võib mõjutada vaakumit või optilist jõudlust
Isegi väikseim kõrvalekalle võib põhjustada:
Vale joondamine vahvli teisaldamise ajal
Fotomaski projektsiooni täpsuse kaotus
Saagise kadu saastumise või geomeetrilise triivi tõttu
Tegelik-näide: litograafiatööriista raamid
Ühes projektis, mis hõlmas akerge alumiiniumisulamist raamfotolitograafiasüsteemi jaoks,tolerants alla 5 μmkinnituspindadel oli vaja tagadatäiuslik ülekatte joondaminelaastudest.
Selle saavutamiseks kasutasime:
5-teljeline CNC töötlemine termilise kompensatsiooniga
Madal-vibratsioon, suure-kiirusega spindli juhtimine
Reaalajas-mõõtmete sondeerimine ja tagasisideahelad
Ilma sellise täpsuseta võib kõigest 10 μm nihe moonutada maski joondamist ja vähendada kiibi tootlikkust,{1}}mis läheb kliendile maksma märkimisväärse seisakuaja ja materjalikadu.
Meie protsess klBISHEN Täpsus
Teenindame pooljuhtide originaalseadmete tootjaid:
Üli-täpne CNC freesimine ja treimine (kordatavus ±2–5 μm)
Ra Väiksem või võrdne 0,2 μm pinnaviimistlusegakriitiliste tihendite või optiliste tsoonide jaoks
Puhasruumi-ühilduv pakend
CMM-i ja laserskaneerimise kontroll koos jälgitavate aruannetega
Meie meeskond mõistabiga mikroni kriitilisus-ja toetab seda kogemustega nii teadus- ja arendustegevuse kui ka suure-mix väikese{2}}mahuga tootmiskeskkondade teenindamisel.
Miks see on oluline
Pooljuhtide tootmises on geomeetria kõik. Mis tahes moonutused, kõrvalekalded või jämedused võivad põhjustada:
Mustri moonutamine
Vahvlite käsitlemise vead
Vaakumsüsteemi rike
Täppistöötlemine ei tähenda ainult rangeid tolerantse,{0}}vaid selle tagamistfunktsionaalsus ja töökindlusjärgmise -põlvkonna kiibi tootmisseadmetest.
