Juhtumi taust: "Tuhande{0}}augu probleem" kiibi valmistamisel
Pooljuhtkiipide töötlemise valdkonnas kasutatakse kvartsklaasi laialdaselt söövitusprotsessis pihustusketaste valmistamisel selle kõrge puhtuse, kõrge temperatuurikindluse ja keemilise stabiilsuse tõttu. Juhtiva kiibiseadmete tootja kvartspihustusketaste töötlemisnõuded on väga esinduslikud:
Materjal: Kvartsklaas (kõvadus HV700)
Põhifunktsioonid: 0,5 mm läbimõõduga, 5 mm sügavusega mikro-avad (sügavuse- ja -läbimõõdu suhe 10:1), 4996 auku tuleb ühtlaselt töödelda 280 mm läbimõõduga kettal
Täpsusnõuded: augu ümarus Vähem kui ±5 μm või sellega võrdne, asukohaviga<0.02mm, hole edge collapse ≤0.15mm
Tootja kasutas algselt traditsioonilist puurimistehnoloogiat, kuid seisis silmitsi kahe saatusliku probleemiga:
Tõhususe kitsaskoht: ühe augu töötlemine võtab 270 sekundit ja ühe ketta töötlemine nõuab pidevat tööd 34 päeva;
Saagis kontrolli alt väljas: Ava serva kokkuvarisemine ulatub 0,4 mm-ni, mille tulemuseks on pingekontsentratsiooni tõttu enam kui 30% toorikute pragunemine ja pragunemine.
BISHENi lahendused: ultrahelitehnoloogia õõnestab traditsioonilise käsitöö
Pidades silmas kvartsklaasi rabedaid ja kõvasid omadusi, pakkus BISHENi uurimis- ja arendusmeeskond välja ultraheli täppisgraveerimis- ja freesimissüsteemi, mis murdis läbi kolme tehnilise uuenduse:
① Kõrgsageduslik{0}}ultraheli vibratsiooni vähendamise tehnoloogia
20 kHz ultrahelivibratsioon lühendab puuri ja materjali kokkupuuteaega mikrosekunditeni, vähendab lõikejõudu 65% ja pärsib serva kokkuvarisemist juurest.
② Integreeritud PCD-drilli kohandamine
Puur on valmistatud teemantkomposiitlehest (PCD) ühes tükis, mille lõikeserva kaare täpsus on ±2 μm ja 0,01-kraadine aksiaalne korrektsioonisüsteem tagab 5 mm sügavuste aukude sirguse.
③ Vaakum-adsorptsiooni positsioneerimistööriistad
Õhus ujuvplatvorm koos mitme ala sõltumatu juhtimisega stabiliseerib 280 mm kvartsketta tasasuse vea 0,005 mm piires, välistades puurimisasendi kõrvalekalde.
Töötlemise andmete võrdlus: topelthüpe tõhususes ja täpsuses
Seda lahendust on kolm kuud järjest masstootmises kontrollinud kliendid ja pihustusplaadi saagis on tõusnud 67%-lt 98%-le, säästes tootjad igal aastal kvartsmaterjali kaokuludelt üle 8 miljoni jüaani.
Tööstuse inspiratsioon: täppistöötluse tehniline pöördepunkt
Kvartsklaasist mikro{0}}augude töötlemine oli kunagi "pudelikael", mis piiras kiibiseadmete uuendamist. Ultrahelitehnoloogia insenerirakenduse abil ei lahendanud BISHEN mitte ainult mikro-avade töötlemise probleemi sügavuse- ja-läbimõõdu suhtega 10:1, vaid kinnitas ka uut paradigmat rabedate ja kõvade materjalide täppistöötluseks - Asendades tööriista suure {{kõvaduse, 8}vibratsiooniga. universaalne väärtus ülitäpse töötlemise jaoks sellistes tööstusharudes nagu keraamika ja optiline klaas.
Bishen Precisioni kohta
BishenPrecision keskendub{0}}kõrge täpsusega metallosade valmistamisele. Tuginedes 7500 ruutmeetri suurusele kaasaegsele tootmisbaasile, pakub see ühtseid lahendusi-lennunduse, meditsiinitehnika ja robootika valdkonnas keerukate konstruktsiooniosade jaoks. Ettevõte peab oma põhiliseks konkurentsivõimeks "äärmuslikku täpsust ja usaldusväärset tarnimist" ning suudab pakkuda täielikke-protsessiteenuseid alates materjali muutmisest, mitme-teljega ühendamise töötlemisest kuni mikroni{8}}taseme testimiseni. Sellel on ISO 13485 meditsiiniseadmete kvaliteedijuhtimissüsteem, AS9100 lennundussertifikaat ja muud kvalifikatsioonid ning see on kokku tarninud enam kui 200 000 põhiosa, aidates klientidel täppistootmise piire ületada.
