Pooljuhtseadmete tootmise maailmaspinnakvaliteet ei seisne ainult esteetikas,{0}}see on funktsioonis, pikaealisuses ja täpsuses. Sellised komponendid nagu vahvlipadrunid, objektiivi kinnitused ja täppisjuhikud peavad vastama mitte ainult mõõtmete tolerantsidele, vaid kaäärmuslikud pinnaviimistluse nõuded, sageli allpoolRa 0,1 μm.
Miks on nanomeetri{0}}taseme pinnaviimistlus oluline?
Suure jõudlusega-pooljuhtseadmed sõltuvad suuresti kontaktide täpsusest ja ühilduvusest puhta ruumiga. Pinna karedus, mis ületab nanomeetri läviväärtusi, võib:
Segadavahvli paigutuse täpsus
Suurendadahõõrdumine ja kulumineliikumise ajal
Põhjusoptilise signaali hajumine, mis mõjutab fotolitograafiat
Looosakeste püünised, suurendades saastumise ohtu
Näiteks avahvlilava tugirõngasspetsifikatsioonist suurem pinnakaredus võib põhjustada mikro{0}}vibratsiooni, mis vähendab positsioneerimise täpsust ja saagikust.
CNC-töötluse väljakutse
Pinnaviimistluse Ra saavutamine, mis on väiksem või võrdne 0,1 μm, ületab standardsete CNC-protsesside puhul palju rohkem. Traditsioonilised tööriistad ja parameetrid jätavad sageli maha mikro-kriimustusi, töötlusjälgi või jääkpingeid-, mis on pooljuhtkeskkondades vastuvõetamatud.
Meie lähenemine nanomeetri{0}}taseme kvaliteedile
KellBISHEN Täpsus, oleme välja töötanud töötlemise töövood spetsiaalselt pinnatundlike{0}}rakenduste jaoks:
Kasutamineultra-peeneteralised karbiiditööriistadkohandatud geomeetriaga
Poleerimispassidintegreeritud lõplikesse tööradadesse
Jahutusvedeliku juhtimissüsteemidkuumusest{0}}indutseeritud mikro-pisarate vältimiseks
KooskõlastamineCMM-id ja valge{0}}valguse interferomeetridkareduse kinnitamiseks
Iga osa läbib mitmeetapilise{0}}kontrolli mitte ainult mõõtmete tolerantside, vaid kasub-mikroniline pinna konsistentskõigil kontakttasanditel.
Päris ümbris: peegel{0}}valminud vahvlite tugiplaadid
Klient nõudis parema pinnaviimistlusega alumiiniumist vahvliplaate kuiRa 0,05 μm, ühtlane kogu seadme ulatuses. Kasutades optimeeritud kiiret-viimistlustehnikat ja kohandatud poleerimisstrateegiaid, tarnisime komponendid, mis ületasid spetsifikatsiooni -valmis EUV-taseme puhasruumi kokkupanekuks.
Ärge laske pinnaviimistlusel oma süsteemi õõnestada
Pinna ebatäiuslikkus nanomõõtmes võib vaikselt kahjustada teie kõige täpsemaid mehhanisme. Kui teie rakendus nõuaboptilised{0}}klassi viimistlused, võisuurepärane hõõrdejõudlus, räägi meiega. Aitame tagada, et teie osad vastavad mõlemalesallivusjatekstuur.
