Kolmanda-põlvkonna pooljuhtide tootmise valdkonnas on ränikarbiidist vahvlialused ja padrunid oma korrosioonikindluse ja kõrge soojusjuhtivuse tõttu muutunud asendamatuteks põhikomponentideks. Nende töötlemise käigus paljastatud tööstuse valupunktid on aga täppistootmisettevõtteid pikka aega vaevanud.
Tüüpiline töötlemisjuhtum
Ränikarbiidist vahvlialuse padrunite töötlemise projekt, mille on ette võtnud teatud ettevõte, nõuab D380x5mm toorikute õõnsuse ja soone struktuuri lihvimise lõpetamist. Selle materjali kõvadus ulatub HV2002-ni, mis on ligi 1/3 loodusliku teemandi kõvadusest. Sagedased serva kokkuvarisemise probleemid töötlemise ajal andsid tulemuseks alla 60% läbimise ja traditsioonilised tööriistad lammutati 159 minutiga ning ühe tüki töötlemine võttis aega kuni 888 minutit.
Tööstusliku töötlemise valupunktid
SiC materjalid seisavad traditsioonilises töötlemises silmitsi kolme peamise väljakutsega nende suure kõvaduse ja rabeduse tõttu:
Tooriku servade lõhkumismäär on üle 35%
Tööriista kulumismäär on 3-5 korda kõrgem kui tavalistel materjalidel
Pinna kareduse kontrollimise täpsust ±0,5 μm on raske stabiilselt säilitada
BISHENlahenduste innovatsiooni praktika
Vastuseks ränikarbiidi töötlemise erivajadustele rakendas BISHENi tehniline meeskond kolmeastmelise protsessiuuenduse:{0}}
• Tutvustame 20 kHz ultraheli vibratsiooniga töötlemissüsteemi
• Integreeritud PCD mikro{0}}tera-freesi kohandamine (serva R nurk 0,02 mm)
• Adaptiivse dünaamilise reguleerimisalgoritmi väljatöötamine lõikeparameetrite jaoks
Töötle uuendamise tulemused
Tootmisandmed pärast seadmete ümberkujundamist näitavad:
1. Hakkimise määr on langenud alla 8%
2. Üksiku tüki töötlemisaeg on optimeeritud 462 minutini
3. Tööriista eluiga on ületanud 317 minutit
4. Pinna karedust kontrollitakse stabiilselt Ra0,4 μm juures
